半导体气体传感器主要使用半导体气敏材料，自从1962年半导体金属氧化物气体传感器问世以来由于具有灵敏度高，响应快等特点，得到广泛的应用，目前已成为上产量zui大使用较广的传感器之一，按照检测气敏特征量方式不同分为电子式和非电子式两种。
电阻式半导体传感器是通过检测气敏元件伴随气体含量的变化情况而工作的。主要使用金属氧化物陶瓷材料。这种传感器的特性和应用比较宽。例如WO3气体传感器可检测NH3的浓度范围为5PPM—50PPM,ZNO-CUO气体传感器对200PPM的CO非常敏感。
非电子式半导体气体传感器是利用气敏元件的电流或电压随气体含量而变化的原理工作的，主要有MOS二极管式和结型二极管式，以及场效应管式气体传感器。检测气体大多为氢气，烷类等可燃气体。